HRG中山基地开启金刚石单晶及制品装备研发

  大尺寸高品质金刚石单晶材料生长装备。 哈工大机器人集团(HRG)中山双创基地 供图

  中新网广东新闻9月13日电 (李映民 刘劲松)“大尺寸高品质金刚石单晶材料生产装备及工艺技术研发和产业化”项目11日在哈工大机器人集团(HRG)中山双创基地正式启动。

  金刚石单晶及制品是超精密加工、智能电网等国家重大战略实施及智能制造、5G通讯等产业群升级的重要材料基础，这一技术的突破与产业化对于中国智能制造、大数据产业自主安全具有重大意义。

  该项目于今年6月成功获批广东省重点领域研发计划-第三代半导体材料与器件专项，由哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院(以下简称“HRG中山研究院”)负责总体统筹及规划。

  “大尺寸高品质金刚石单晶材料生产装备及工艺技术研发和产业化”项目11日在哈工大机器人集团(HRG)中山双创基地正式启动。图为与会领导及专家合影留念。哈工大机器人集团(HRG)中山双创基地 供图

  据了解，HRG中山研究院作为该项目牵头单位，将联合哈尔滨工业大学、哈尔滨工业大学深圳校区、中电55所、南京中电芯谷开展单晶金刚石及其器件的研究，在大尺寸单晶生长工艺、高精度微细加工、高效浅能级掺杂和器件集成化等方面重点布局，实现从原理探索到关键技术攻关的突破并进行产业技术储备，为我国在半导体技术领域实现弯道超车，抢占未来产业的制高点以及支撑国家发展战略的实施提供支撑。

  HRG中山双创基地背靠粤港澳大湾区经济发展前沿优势，依托HRG中山研究院，围绕无人装备、人工智能、生物医药健康产业方向，引进高端人才、技术、项目；依托精密仪器与测量、智能感知、机器视觉与图像处理等机器人领域关键共性技术，打造创新科技成果转化基地。(完)